Technische Ausstattung
Mikrosystemtechnik
Designwerkzeuge
- Designwerkzeuge für Maskenlayout
- 3D-Konstruktion
- Schaltungslayout für Siebdruck
Beschichtung/Mikrostrukturierung
- Vollständige Fotolithographie mit Resistprozessor und doppelseitigem Mask Aligner für die Mikrostrukturierung
- Trockenätzanlage (RIE) für Siliziumwafer sowie auch für Kunststoffsubstrate
- Prozessanlage für anisotropes Ätzen von Silizium
- Dünnfilmprozessanlagen (Sputtern, PECVD)
- Abscheideanlage für Parylene C
- Imidisieren von Polyimid
- Laser zum Bohren und Schneiden (z. B. von Silizium oder Aluminiumoxid-Keramik)
- Labor für Replikationstechnologien (Silikonabformung; Herstellung von Gussformen)
- 3D-Rapid Prototyping mittels 3D-Drucker und 3D-Scanner
- Labor zur Be- und Verarbeitung von Silikonstrukturen einschließlich der gezielten Optimierung von deren Eigenschaften durch biologische Funktionalisierung der Oberflächen und das Einbringen spezieller Füllstoffe
Aufbau- und Verbindungstechnik
- Die-Bonder
- Ball-Wedge-Bonder
- anodischer Bonder
- Hybrid-Laborlinie
Messtechnik/Analytik
- Rasterelektronenmikroskop (REM, EDX)
- 3D-Konfokalmikroskop
- Feldverteilungen bei Mikroelektroden
- elektrische Impedanzspektroskopie
- Impedanzmessplatz mit Solartron SI 1260, SI 1287, SI 1294
- Aufnahme von Leckströmen unter mechanischer Belastung
- Profilometer
Teststände zur Charakterisierung aktiver Implantate
- Teststände zum Erfassen des Einflusses von Gewebe auf die drahtlose Kommunikation und die drahtlose Energieübertragung
- neurophysiologische Messplätze
- Aufbau spezieller Teststände
- EMV-Messplatz
Folienbasierte Mikrosystemtechnik
- Heißprägeanlage
- Anlage zum rotativen Heißprägen großflächiger Folien (Rolle-zu-Rolle)
- Anlage zum rotativen Drucken von Proteinen und von leitfähigen Strukturen aus Graphen (Rolle-zu-Rolle)
- Folienlaminator
Biotelemetrie/Elektronik/Soft- und Firmware
- Telemetrie-Labor mit der Ausstattung zur professionellen Elektronikentwicklung und Vermessung, wie digitale HF-Oszilloskope, programmierbare Netzgeräte, Spektrumanalysatoren, Präzisionsmultimeter etc.
- Entwurfswerkzeuge zur Entwicklung elektronischer Schaltungen (Mentor Graphics, OrCAD, Solid Works)
- elektrotechnisches Labor zur Entwicklung und Fertigung verteilter Sensorik und Aktuatorik einschließlich Systeme für die physiologische Messtechnik und Elektrostimulation
- Entwicklungswerkzeuge zur Programmierung verschiedener 8-, 16-, und 32-bit-Microcontroller und FPGAs
- Softwarelabor
- Simulationswerkzeuge zur Simulation elektromagnetischer Systeme
- Zugriff auf Finepitch-SMD-Bestückung und Dampfphasenlötanlage
- VR-/AR-Komponenten, z. B. HoloLens
Methodik
- Labor zur Entwicklung und Anwendung von Geräten und Methoden der klinischen Neurophysiologie einschließlich Eye-Tracking und Thermographie
- Fahrsimulator zur Beurteilung des Fahrverhaltens und des Zustands eines Fahrzeugführers über die Dynamik erfasster Vitalparameter
- 3D-Messplatz zur Erfassung und Beurteilung von Bewegungsabläufen einschließlich 16-kanaliger Erfassung des EMG und dessen drahtloser Übertragung
- Entwicklungsumgebungen für funkbasierte Ortungssysteme
- Softwareentwicklungswerkzeuge für PC- und Handy-/PDA-Anwendungen in Java, C/C++/C#; Datenbankenentwicklungstools (Oracle, SQL-Server, Intersystems Caché)
- Geräte und Kommunikationseinrichtungen zum drahtlosen kontinuierlichen Patienten-Monitoring
- Server und Datenbanken
- kryptografische Anwendungen